產(chǎn)品簡(jiǎn)介
HSMC-10多通道霍爾測(cè)試系統(tǒng)能夠?yàn)槎嚯姌O圓柱型晶錠、D型晶錠和大型晶圓片提供一個(gè)變磁的環(huán)境。測(cè)試溫度：室溫或者77K液氮低溫，矩陣開關(guān)實(shí)現(xiàn)測(cè)試電極之間自由切換、選擇，適用于多電極樣品，有0.1T ~ 1T寬范圍磁場(chǎng)調(diào)節(jié)區(qū)間和精確、快速零磁場(chǎng)控制功能。
PRODUCT CENTER
產(chǎn)品中心
多通道自動(dòng)化霍爾測(cè)試系統(tǒng) HSMC-10
產(chǎn)品概述
HSMC-10多通道霍爾測(cè)試系統(tǒng)能夠?yàn)槎嚯姌O圓柱型晶錠、D型晶錠和大型晶圓片提供一個(gè)變磁的環(huán)境。系統(tǒng)有77K液氮單點(diǎn)選件，提供樣品在77K低溫下完成霍爾效應(yīng)測(cè)量。搭配霍爾測(cè)試儀，能夠準(zhǔn)確測(cè)得低遷移率材料的電學(xué)性能可在電磁場(chǎng)、液氮低溫環(huán)境（77K）下，對(duì)多種類型樣品進(jìn)行快速自動(dòng)化測(cè)試，以獲取樣品的霍爾參數(shù)，包含待測(cè)樣品的電阻率、霍爾電壓、霍爾系數(shù)、載流子濃度、霍爾遷移率和載流子類型等，填補(bǔ)傳統(tǒng)的霍爾測(cè)試儀器只能測(cè)量制備成型后樣品的空白。
系統(tǒng)特點(diǎn)：
? 具有行業(yè)先進(jìn)的快速霍爾效應(yīng)測(cè)試功能和數(shù)據(jù)分析功能，大大降低測(cè)量時(shí)間；
? 矩陣開關(guān)實(shí)現(xiàn)測(cè)試電極之間自由切換、選擇，適用于多電極樣品；
? 可定制電磁鐵能夠?qū)崿F(xiàn)大磁場(chǎng)均勻區(qū)，適用于大樣品；
? 具有24電極自動(dòng)選擇、切換測(cè)試和數(shù)據(jù)分析功能；
? 具有0.1T ~ 1T寬范圍磁場(chǎng)調(diào)節(jié)區(qū)間和精確、快速零磁場(chǎng)控制功能；
? 具有自動(dòng)進(jìn)樣功能，可支持重達(dá)1kg待測(cè)樣品自動(dòng)化進(jìn)樣；
? 具有豐富樣品測(cè)試支架可選，可測(cè)圓柱型晶錠、D型晶錠、晶圓片（2寸、4寸和6寸）等各形各尺寸樣品；
? 具有數(shù)據(jù)采集、整理、分析、輸出功能，同時(shí)具備報(bào)告定制和導(dǎo)出功能；
? 具有系統(tǒng)可擴(kuò)展性，升級(jí)后最多可支持32電極自動(dòng)切換測(cè)試。
? 測(cè)試溫度：室溫或者77K液氮低溫；
技術(shù)參數(shù)
參數(shù)和指標(biāo)：
| 測(cè)量參數(shù) | |
| 待測(cè)樣品尺寸 | 支持6寸或更大，兼容4寸和2寸 |
| 遷移率 | 0.01~1×106cm2/Vs |
| 標(biāo)配電阻測(cè)量范圍 | 10mΩ ~ 10MΩ |
| 低溫溫區(qū) | 77K |
| 霍爾測(cè)試最小R2 | 0.9999 |
| 矩陣開關(guān)參數(shù) | |
| 開關(guān)類型 | EMR |
| 通道 | 共(4Bank×16CH/Bank)通道：4組，每組1切16 |
| 切換時(shí)間(Typ) | 6ms |
| 開關(guān)最大承載電壓 | 300VDC/250VAC |
| 開關(guān)最大承載電流 | 切換電流/持續(xù)電流：1A，脈沖電流：6A@100ms |
| 樣品類型 | |
| 圓柱型晶錠 | 圓柱型晶錠為圓柱體或者類圓柱體，晶錠上可有多個(gè)電極 |
| D型晶錠 | 沿圓柱型晶錠軸線對(duì)半剖開所得，晶錠上可有多個(gè)電極 |
| 晶圓片 | 2寸、4寸和6寸樣品 |
| 電磁鐵 | |
| 磁場(chǎng)范圍 | 0.1T~1T@50A(Φ300mm極面，固定氣隙75mm中心) |
| 磁場(chǎng)步長(zhǎng) | 10Gs |
| 磁場(chǎng)均勻度 | 75mm氣隙中心磁場(chǎng)優(yōu)于1.0T@50A(φ300mm極面)工作時(shí)間30min 均勻區(qū)Φ150*30mm，均勻度 1% 均勻區(qū)Φ200*50mm，均勻度 5% 1%@（30*Φ150mm），5%@（50*Φ200mm）,重量：2337KG |
| 電磁鐵電源 | |
| 最大輸出功率 | 10 kW @ AC 380 V ±10%(50 ~60 Hz) |
| 最大輸出電流 | 50 A |
| 重量 | 30 kg |
| 二維步進(jìn)電機(jī) | |
| 水平X行程 | 400mm |
| 垂直Z行程(帶剎車) | 700mm |
| 77K液氮單點(diǎn)系統(tǒng) | |
| 液氮容積 | 約3.38L |
| 恒溫器內(nèi)尺寸（mm） | 190*54*33 |
| 測(cè)試溫度 | 室溫和77K液氮單點(diǎn) |
應(yīng)用領(lǐng)域
-
集成電路 -
芯片 -
晶圓片
